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檢測氣體：鍺烷（GeH4） 檢測方式：固定、在線檢測，擴散式測量，管道式、泵吸式、流通式可選 檢測范圍：0-1ppm、20ppm可選 分 辨 率：0.001ppm、0.01ppm 精　　度：±3%FS 響應時間：≤10秒 ，固定式鍺烷檢測報警一體機 恢復時間：≤20秒